Physik • Freie Universität Berlin/

AG Wöste

Properties of Sputtered Aggregates

P. Fayet and L. Wöste – 1985

Titel

Properties of Sputtered Aggregates

Verfasser

P. Fayet and L. Wöste

Ort

München

Datum

1985

Quelle/n

Abstract

Erschienen in

Proceedings of the 5th International IPAT-Conference on Ion and Plasma Assisted Techniques

Größe oder Länge

p. 92–95